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ソリューション紹介

ソリューション紹介

SPP処理

概 要

    SPP=Super Passivation Process
  • ステンレスの表面改質により、最表層に欠陥のない緻密なCr2O3膜を形成します。
    フッ酸や塩酸などのハロゲンガスに対して優れた耐腐食性能が得られ、真空特性も向上します。
    ステンレスの表面を改質することにより、今までのステンレスの常識とは違う、様々な現象が解明されてきています。
    今後水素インフラや超高真空の分野においても期待される技術です。
    【目的】
  • 腐食対策、メタルコンタミ対策、低放出ガス
    【用途】
  • 一次側配管、バルブ・MFC・レギュレータ等のパーツ類、チャンバー、チャンバー回りパーツ類

資 料

SPP処理 FE-SEMによる表面観察例 酸化クロムのナノ粒子


慶應大学清水名誉教授撮影

SUS316L EP処理 vs SPP処理 GDOES分析例

SPP処理の曝露試験例

・HCl曝露例


・HF曝露例


・HBr曝露例


・HBr曝露例(配管)


・HF水溶液曝露例


SPP処理配管のメタル汚染測定例

・HBr曝露


SPP配管の昇温脱離


ソリューション 一覧表

製品名    概要    膜質 膜厚 耐熱温度 耐食性  効果例 
シリカコート
Quartzace
金属の表面が合成石英並みの高純度SiO2になります。メタルフリーによりメタルコンタミフリーを実現します。

SiO2 0.7μm 350℃ HCl
HBr
など
※1

金属の高温酸化防止
メタルコンタミ低減

SPP処理

SUS316Lの表面に緻密な酸化クロム皮膜を形成し、HFHClに対しても優れた耐食性が得られます。

Cr2O3 40Å 300℃ HCl
HBr
HF
F2
など
メタルコンタミ低減

※1 HF, F2のF系ガスは不可

ソリューション紹介

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