SPP処理

概　要

ステンレスの表面改質により、最表層に欠陥のない緻密なCr₂O₃膜を形成します。
フッ酸や塩酸などのハロゲンガスに対して優れた耐腐食性能が得られ、真空特性も向上します。
ステンレスの表面を改質することにより、今までのステンレスの常識とは違う、様々な現象が解明されてきています。
今後水素インフラや超高真空の分野においても期待される技術です。

■ SPP処理　FE-SEMによる表面観察例　酸化クロムのナノ粒子

慶應大学清水名誉教授撮影

■ SUS316L　EP処理　vs　SPP処理　GDOES分析例

■ SPP処理の曝露試験例

・HCl曝露例

・HF曝露例

・HBr曝露例

・HBr曝露例(配管)

・HF水溶液曝露例

■ SPP処理配管のメタル汚染測定例

・HBr曝露

■ SPP配管の昇温脱離

製品名	概要	膜質	膜厚	耐熱温度	耐食性	効果例
シリカコート Quartzace	金属の表面が合成石英並みの高純度SiO₂になります。メタルフリーによりメタルコンタミフリーを実現します。	SiO₂	0.7μｍ	350℃	HCl HBr など ※1	金属の高温酸化防止メタルコンタミ低減
SPP処理	SUS316Lの表面に緻密な酸化クロム皮膜を形成し、HF、HClに対しても優れた耐食性が得られます。	Cr₂O₃	40Å	300℃	HCl HBr HF F₂ など	メタルコンタミ低減

※1 HF, F₂のF系ガスは不可

ソリューション紹介