【概要】金属の表面が合成石英並みの高純度SiO2になります。メタルフリーによりメタルコンタミフリーを実現します。
【適用例】チャンバー、チャンバー回りの部材など
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【概要】ステンレスの表面改質。 緻密な酸化クロム皮膜を形成し、HF、HClに対しても優れた耐食性が得られます。
【適用例】１次側配管内面など バルブ、マスフローコントローラ、レギュレータなどのパーツ類
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【概要】金属の表面が合成石英並みの高純度SiO2になります。メタルフリーによりメタルコンタミフリーを実現します。
【概要】ステンレスの表面改質。
