概　要

シリカコート

• はQuartz+Surfaceの造語で、表面のみをQuartzにします。
  基材は金属、樹脂、ゴム、生体などあらゆる基材に対応でき、基材の特徴を活かしたまま、表面のみシリカガラスの特性が得られます。 例えば、金属にコーティングすれば、塩酸ガスなどに対してシリカガラスの優れた耐食性が得られます。また高温での金属の酸化も防ぐことができます。 金属表面が合成石英並みのSiO₂になることにより、メタルコンタミの問題を解決することも可能です。
  
  半導体以外としては樹脂にもコーティングが可能で、ガス透過性を低減させたり、傷がつきにくくすることができます。 また、シリカコートは生体材料としても応用でき、金属や樹脂にコーティングすることにより、基材に生体活性が付与できます。
  
  関連特許：2009-141806、2008-025491、2008-088032、2008-088031、2008-537549、2007-312833、2001-094125
  
  組成　SiO₂
  膜厚　0.1 ～ 3μｍ
  耐熱　350℃（-196℃ ～ 900℃）

【目的】
• 腐食対策、メタルコンタミ対策（Ｆ系のガス以外）

【用途】
• チャンバー、チャンバー回りパーツ、フランジ類など
  

資　料

■ シリカコート の密着性とユニークな２層構造

密着性；基材との密着性は非常に強固で、SiO₂のSiは基材金属の酸化膜のOと結合している（推測）
2層構造；1層目は緻密な員環構造、2層目はメチル基（CH₃）含有柔軟構造

■ シリカコート の効果例① （メタルコンタミの低減）

HClガス供給配管内面、チャンバー直近ステンレス製フランジ内面へコーティング

■ シリカコート の効果例②（耐HBr）

HBrガス供給配管内面、チャンバー直近ステンレス製フランジ内面へコーティング