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SPP처리

개요

    SPP=Super Passivation Process
  • 스테인리스의 표면 개질로, 최표면층에 결함이 없는 치밀한 Cr2O3 막을 형성합니다.
    불소, 염산 등의 할로겐 가스에 대하여 우수한 내부식 성능을 얻을 수 있어, 진공 특성도 향상됩니다.
    스테인리스의 표면을 개질함으로써 스테인리스에 대한 기존 상식과는 다른 여러 가지 현상이 점차 해명되고 있습니다.
    앞으로 수소 관련 인프라, 초고진공 분야에서도 기대되는 기술입니다.
    [목적]
  • 부식 대책, 메탈 오염 대책, 저방출 가스
    [용도]
  • 1차측 배관, 밸브・MFC・레규레이터 등 부품류, 챔버, 챔버 주변부 부품류

자료

SPP 처리 FE-SEM에 의한 표면 관찰 예: 산화 크롬의 나노입자


게이오 대학 시미즈 명예교수 촬영

SUS316L EP 처리 vs SPP 처리 GDOES 분석 예

SPP 처리의 폭로 시험 예

・HCl 폭로 예


・HF 폭로 예


・HBr 폭로 예


・HBr 폭로 예(배관)


・HF 수용액 폭로 예


SPP 처리 배관의 메탈 오염 측정 예

・HBr 폭로


SPP 배관의 승온열 탈착


솔루션 일람표

제품명 개요 막질 막두께 내열 온도 내식성 효과 예
실리카 코트
Quartzace
금속 표면이 합성 석영과 동등한 수준의 고순도 SiO2입니다. 메탈 프리로 메탈 무오염을 실현합니다.  SiO2 0.7μm 350℃ HCl
HBr

※1
금속의 고온 산화 방지 메탈 오염 저감
SPP 처리 SUS316L 표면에 치밀한 산화크롬 피막을 형성하고 HF, HCl에 대해서도 우수한 내식성을 얻을 수 있습니다. Cr2O3 40Å 300℃ HCl
HBr
HF
F2
메탈 오염 저감

※1 HF, F2의 F계 가스는 불가

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