SPP处理

概　要

通过对不锈钢的表面改性，在最表层形成无瑕疵的细密Cr₂O₃层。
对氢氟酸或盐酸等卤族元素气体具有良好的耐腐蚀性能，并提高真空特性。
通过对不锈钢的表面改性，打破了以往的不锈钢的常识，展示了各种可能性。
今后，在氢气基础设施或超高真空的领域中将是备受期待的技术。

■ SPP处理　场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）所观察到的表面例　氧化铬的纳米粒子

庆应大学名誉教授清水先生拍摄

■ SUS316L　EP处理　vs　SPP处理　GDOES分析例

■ 经过SPP处理的曝露试验例

・HCI曝露例

・HF曝露例

・HBr曝露例

・HBr曝露例(配管)

・HF水溶液曝露例

■ SPP处理配管的金属污染检测例

・HBr曝露

■ SPP配管的升温脱离

产品名称	概要	膜質	膜厚	耐热温度	耐腐蚀性	效果例
石英涂层 Quartzace	金属表面改性成高纯度SiO₂近似合成石英。通过实现表面无金属来达到无金属污染的效果。	SiO₂	0.7μｍ	350℃	HCl HBr 等 ※1	防止金属的高温氧化　减少金属污染
SPP处理	在SUS316L的表面形成一层精密的氧化铬层，对HF和HCI也有良好的耐腐蚀性。	Cr₂O₃	40Å	300℃	HCl HBr HF F₂ etc.	降低金属污染

※1不适用于 HF, F₂或其他氟基气体

解决方案