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SPP处理

概 要

    SPP=Super Passivation Process
  • 通过对不锈钢的表面改性,在最表层形成无瑕疵的细密Cr2O3层。
    对氢氟酸或盐酸等卤族元素气体具有良好的耐腐蚀性能,并提高真空特性。
    通过对不锈钢的表面改性,打破了以往的不锈钢的常识,展示了各种可能性。
    今后,在氢气基础设施或超高真空的领域中将是备受期待的技术。
    【目的】
  • 防腐对策、防金属污染对策、低排放气体
    【用途】
  • 初级配管、阀/MFC/调节器等的零件类、通气柜、通气柜附近的零件类

资 料

SPP处理 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)所观察到的表面例 氧化铬的纳米粒子


庆应大学名誉教授清水先生拍摄

SUS316L EP处理 vs SPP处理 GDOES分析例

经过SPP处理的曝露试验例

・HCI曝露例


・HF曝露例


・HBr曝露例


・HBr曝露例(配管)


・HF水溶液曝露例


SPP处理配管的金属污染检测例

・HBr曝露


SPP配管的升温脱离


解决方案一览表

产品名称 概要  膜質 膜厚 耐热温度 耐腐蚀性 效果例
石英涂层
Quartzace
金属表面改性成高纯度SiO2近似合成石英。通过实现表面无金属来达到无金属污染的效果。 SiO2 0.7μm 350℃ HCl
HBr

※1
防止金属的高温氧化 减少金属污染
SPP处理 在SUS316L的表面形成一层精密的氧化铬层,对HF和HCI也有良好的耐腐蚀性。 Cr2O3 40Å 300℃ HCl
HBr
HF
F2
etc.
降低金属污染
※1不适用于 HF, F2或其他氟基气体

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