SPP处理
概 要
SPP=Super Passivation Process
- 通过对不锈钢的表面改性,在最表层形成无瑕疵的细密Cr2O3层。
对氢氟酸或盐酸等卤族元素气体具有良好的耐腐蚀性能,并提高真空特性。
通过对不锈钢的表面改性,打破了以往的不锈钢的常识,展示了各种可能性。
今后,在氢气基础设施或超高真空的领域中将是备受期待的技术。
【用途】
- 初级配管、阀/MFC/调节器等的零件类、通气柜、通气柜附近的零件类
资 料
■ SPP处理 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)所观察到的表面例 氧化铬的纳米粒子
庆应大学名誉教授清水先生拍摄
■ SUS316L EP处理 vs SPP处理 GDOES分析例
■ 经过SPP处理的曝露试验例
・HCI曝露例
・HF曝露例
・HBr曝露例
・HBr曝露例(配管)
・HF水溶液曝露例
■ SPP处理配管的金属污染检测例
・HBr曝露
■ SPP配管的升温脱离
解决方案一览表
产品名称 |
概要 |
膜質 |
膜厚 |
耐热温度 |
耐腐蚀性 |
效果例 |
石英涂层 Quartzace |
金属表面改性成高纯度SiO2近似合成石英。通过实现表面无金属来达到无金属污染的效果。 |
SiO2 |
0.7μm |
350℃ |
HCl
HBr
等
※1 |
防止金属的高温氧化 减少金属污染 |
SPP处理 |
在SUS316L的表面形成一层精密的氧化铬层,对HF和HCI也有良好的耐腐蚀性。 |
Cr2O3 |
40Å |
300℃ |
HCl
HBr
HF
F2
etc. |
降低金属污染 |
※1不适用于 HF, F2或其他氟基气体