개요

실리카 코트

• 는 Quartz+Surface의 조어로, 표면만을 Quartz로 합니다.
  모재는 금속, 수지, 고무, 생체 등 모든 모재에 대응할 수 있어, 모재의 특징을 살리면서 표면만 실리카 유리의 특성을 얻을 수 있습니다. 예를 들면 금속에 코팅하면 염산가스 등에 대하여 실리카 유리가 가진 우수한 내식성을 얻을 수 있습니다. 또한 고온에서 금속의 산화를 방지할 수 있습니다. 금속 표면이 합성 석영과 동등한 수준의 SiO₂가 됨으로써 메탈 오염의 문제도 해결할 수 있습니다.
  
  반도체 이외로는, 수지에 대해서도 코팅이 가능해 가스투과성을 저감시키거나 흠이 덜 나게 할 수 있습니다. 또한, 실리카 코트는 생체 재료로도 응용이 가능해, 금속이나 수지에 코팅함으로써 모재에 생체활성을 부여할 수 있습니다.
  
  관련 특허：2009-141806, 2008-025491, 2008-088032, 2008-088031, 2008-537549, 2007-312833, 2001-094125
  
  조성　SiO₂
  막두께　0.1 ～ 3μｍ
  내열　350℃（-196℃ ～ 900℃）

[목적]
• 부식 대책, 메탈 오염 대책(F계 가스 이외) 

[용도]
• 챔버, 챔버 주변부 부품, 플랜지류 등
  

자료

■ 실리카 코트 의 밀착성과 개성적인 2층 구조

밀착성； 모재와의 밀착성은 매우 견고해 SiO₂의 Si는 모재 금속의 산화막 O와 결합해있음(추측)
2층 구조；1층째는 치밀한 고리모양 구조, 2층째는 메틸기(CH₃) 함유 유연 구조

■ 실리카 코트 의 효과 예① (메탈 오염 저감) 

HCl가스 공급 배관 내면, 챔버 근접 스테인리스제 플랜지 내면에 대하여 코팅

■ 실리카 코트 의 효과 예2(내HBr) 

HBr가스 공급 배관 내면, 챔버 근접 스테인리스제 플랜지 내면에 대하여 코팅