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실리카 코트 Quartzace

개요

    실리카 코트 Quartzace
  • Quartzace는 Quartz+Surface의 조어로, 표면만을 Quartz로 합니다.
    모재는 금속, 수지, 고무, 생체 등 모든 모재에 대응할 수 있어, 모재의 특징을 살리면서 표면만 실리카 유리의 특성을 얻을 수 있습니다. 예를 들면 금속에 코팅하면 염산가스 등에 대하여 실리카 유리가 가진 우수한 내식성을 얻을 수 있습니다. 또한 고온에서 금속의 산화를 방지할 수 있습니다. 금속 표면이 합성 석영과 동등한 수준의 SiO2가 됨으로써 메탈 오염의 문제도 해결할 수 있습니다.

    반도체 이외로는, 수지에 대해서도 코팅이 가능해 가스투과성을 저감시키거나 흠이 덜 나게 할 수 있습니다. 또한, 실리카 코트는 생체 재료로도 응용이 가능해, 금속이나 수지에 코팅함으로써 모재에 생체활성을 부여할 수 있습니다.

    관련 특허:2009-141806, 2008-025491, 2008-088032, 2008-088031, 2008-537549, 2007-312833, 2001-094125

    조성 SiO2
    막두께 0.1 ~ 3μm
    내열 350℃(-196℃ ~ 900℃)
    [목적]
  • 부식 대책, 메탈 오염 대책(F계 가스 이외) 
    [용도]
  • 챔버, 챔버 주변부 부품, 플랜지류 등

자료

실리카 코트 Quartzace의 밀착성과 개성적인 2층 구조

밀착성; 모재와의 밀착성은 매우 견고해 SiO2의 Si는 모재 금속의 산화막 O와 결합해있음(추측)
2층 구조;1층째는 치밀한 고리모양 구조, 2층째는 메틸기(CH3) 함유 유연 구조

실리카 코트 Quartzace의 효과 예① (메탈 오염 저감) 

HCl가스 공급 배관 내면, 챔버 근접 스테인리스제 플랜지 내면에 대하여 코팅

실리카 코트 Quartzace의 효과 예2(내HBr) 

HBr가스 공급 배관 내면, 챔버 근접 스테인리스제 플랜지 내면에 대하여 코팅

솔루션 일람표

제품명 개요 막질 막두께 내열 온도 내식성 효과 예
실리카 코트
Quartzace
금속 표면이 합성 석영과 동등한 수준의 고순도 SiO2입니다. 메탈 프리로 메탈 무오염을 실현합니다.  SiO2 0.7μm 350℃ HCl
HBr

※1
금속의 고온 산화 방지 메탈 오염 저감
SPP 처리 SUS316L 표면에 치밀한 산화크롬 피막을 형성하고 HF, HCl에 대해서도 우수한 내식성을 얻을 수 있습니다. Cr2O3 40Å 300℃ HCl
HBr
HF
F2
메탈 오염 저감

※1 HF, F2의 F계 가스는 불가

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