石英涂层 
概 要
石英涂层
- 是Quartz+Surface的人造词，意思是把表面变成石英。
基底材料可以是金属、树脂、橡胶、生物体等任何基材，并且可以保持基材原有的特征而只是表面具有石英玻璃的特性。
比如，对金属涂层后可以获得石英玻璃的特性，对氯化氢等具有耐腐蚀性。同时，还可以防止高温时的金属氧化。
金属表面变成了像石英一样的SiO2，金属污染的问题也就迎刃而解了。
除了半导体，还可以对树脂进行涂层加工，以此来降低透气性，或保护表面等。
另外，石英涂层还可以作为生物材料使用，通过对金属或树脂等进行涂层，为基材添加生物活性。
相关专利： 2009-141806、2008-025491、2008-088032、2008-088031、2008-537549、2007-312833、2001-094125
成分 SiO2
膜厚 0.1 ～ 3μｍ
耐温 350℃（-196℃ ～ 900℃）
【目的】
- 防腐对策、防金属污染对策（氟基气体除外）
资 料
■ 石英涂层 的密合性以及独特的双层结
密合性：和基材的密合性非常牢固。SiO2中的Si分子和基材金属氧化膜中的O分子结合（推测）
双层结构：第一层是细密的杂环化合物结构，第二层是含甲基（CH3)的柔软结构
■ 石英涂层 的效果例①（降低金属污染）
对HCI供气管内壁、通气柜附近不锈钢法兰内壁等涂层
■ 石英涂层 的效果例②（耐HBr）
对HBr供气管内壁、通气柜附近不锈钢法兰内壁等涂层
解决方案一览表
| 产品名称 |
概要 |
膜質 |
膜厚 |
耐热温度 |
耐腐蚀性 |
效果例 |
石英涂层
Quartzace |
金属表面改性成高纯度SiO2近似合成石英。通过实现表面无金属来达到无金属污染的效果。 |
SiO2 |
0.7μｍ |
350℃ |
HCl
HBr
等
※1 |
防止金属的高温氧化 减少金属污染 |
| SPP处理 |
在SUS316L的表面形成一层精密的氧化铬层，对HF和HCI也有良好的耐腐蚀性。 |
Cr2O3 |
40Å |
300℃ |
HCl
HBr
HF
F2
etc. |
降低金属污染 |
※1不适用于 HF, F2或其他氟基气体
