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提供有关半导体制程污染控制的各种解决方案
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最新信息
2018.04.18起,公司名称改为“Contamination Control Service Inc.”

解决方案一览表

产品名称 概要  膜質 膜厚 耐热温度 耐腐蚀性 效果例
石英涂层
Quartzace
金属表面改性成高纯度SiO2近似合成石英。通过实现表面无金属来达到无金属污染的效果。 SiO2 0.7μm 350℃ HCl
HBr

※1
防止金属的高温氧化 减少金属污染
SPP处理 在SUS316L的表面形成一层精密的氧化铬层,对HF和HCI也有良好的耐腐蚀性。 Cr2O3 40Å 300℃ HCl
HBr
HF
F2
etc.
降低金属污染
※1不适用于 HF, F2或其他氟基气体

解决方案

石英涂层 Quartzace

金属表面改性成高纯度SiO2近似合成石英。通过实现表面无金属来达到无金属污染的效果。

SPP处理

在SUS316L的表面形成一层精密的氧化铬层,对HF和HCI也有良好的耐腐蚀性。

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