解决方案一览表
| 产品名称 |
概要 |
膜質 |
膜厚 |
耐热温度 |
耐腐蚀性 |
效果例 |
石英涂层
Quartzace |
金属表面改性成高纯度SiO2近似合成石英。通过实现表面无金属来达到无金属污染的效果。 |
SiO2 |
0.7μｍ |
350℃ |
HCl
HBr
等
※1 |
防止金属的高温氧化 减少金属污染 |
| SPP处理 |
在SUS316L的表面形成一层精密的氧化铬层，对HF和HCI也有良好的耐腐蚀性。 |
Cr2O3 |
40Å |
300℃ |
HCl
HBr
HF
F2
etc. |
降低金属污染 |
※1不适用于 HF, F2或其他氟基气体
解决方案
石英涂层 
金属表面改性成高纯度SiO2近似合成石英。通过实现表面无金属来达到无金属污染的效果。
SPP处理
在SUS316L的表面形成一层精密的氧化铬层，对HF和HCI也有良好的耐腐蚀性。
