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실리카 코트

[개요] 금속 표면이 합성 석영과 동등한 수준의 고순도 SiO2입니다. 메탈 프리로 메탈 무오염을 실현합니다.

[적용 예] 챔버, 챔버 주변부 부재 등

[개요]스테인리스의 표면 개질.
치밀한 산화 크롬 피막을 형성하고 HF, HCl에 대해서도 우수한 내식성을 얻을 수 있습니다.

[적용 예] 1차측 배관 내면 등
밸브, 매스 플로 컨트롤러, 레규레이터 등 부품류