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半導体製造工程におけるコンタミネーション制御に関する各種ソリューション及びサービスを提供します
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新着情報
2018.04.18 有限会社コンタミネーション・コントロール・サービスは、株式会社コンタミネーション・コントロール・サービスに社名変更しました。

ソリューション 一覧表

製品名    概要    膜質 膜厚 耐熱温度 耐食性  効果例 
シリカコート
Quartzace
金属の表面が合成石英並みの高純度SiO2になります。メタルフリーによりメタルコンタミフリーを実現します。

SiO2 0.7μm 350℃ HCl
HBr
など
※1

金属の高温酸化防止
メタルコンタミ低減

SPP処理

SUS316Lの表面に緻密な酸化クロム皮膜を形成し、HFHClに対しても優れた耐食性が得られます。

Cr2O3 40Å 300℃ HCl
HBr
HF
F2
など
メタルコンタミ低減

※1 HF, F2のF系ガスは不可

ソリューション紹介

シリカコートQuartzace

金属の表面が合成石英並みの高純度SiO2になります。メタルフリーによりメタルコンタミフリーを実現します。

SPP処理

SUS316Lの表面に緻密な酸化クロム皮膜を形成し、HF、HClに対しても優れた耐食性が得られます。 

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