ソリューション 一覧表
製品名 |
概要 |
膜質 |
膜厚 |
耐熱温度 |
耐食性 |
効果例 |
シリカコート
Quartzace |
金属の表面が合成石英並みの高純度SiO2になります。メタルフリーによりメタルコンタミフリーを実現します。
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SiO2 |
0.7μm |
350℃ |
HCl
HBr
など
※1 |
金属の高温酸化防止
メタルコンタミ低減 |
SPP処理 |
SUS316Lの表面に緻密な酸化クロム皮膜を形成し、HF、HClに対しても優れた耐食性が得られます。 |
Cr2O3 |
40Å |
300℃ |
HCl
HBr
HF
F2
など |
メタルコンタミ低減 |
※1 HF, F2のF系ガスは不可
ソリューション紹介
シリカコート
金属の表面が合成石英並みの高純度SiO2になります。メタルフリーによりメタルコンタミフリーを実現します。
SPP処理
SUS316Lの表面に緻密な酸化クロム皮膜を形成し、HF、HClに対しても優れた耐食性が得られます。